一、靶材介绍
靶材是半导体、显示面板、光伏等领域制备功能薄膜的核心原材料，存在工艺不可替代性。
由于是在溅射过程中被高速金属等离子体流轰击的目标材料，又称“溅射靶材”，纯度为99.95%以上，更换不同靶材可得到不同的膜系，实现导电或阻挡等功能。
不同应用的靶材品种性能要求各有侧重，重视高附加值的原料制备。
整体而言，靶材的纯度、致密度和成分均匀性、晶粒等对靶材性能都有一定影响，且针对不同的下游影响程度和侧重点有所不同。
▲ 溅射工艺原理图，资料来源：江丰电子招股书
二、靶材的分类
根据不同材质靶材可分为：金属靶材，陶瓷靶材，合金靶材。
根据不同应用领域可分为:
● 半导体靶材：
电极、布线薄膜：铝靶材，铜靶材，金靶材，银靶材，钯靶材，铂靶材，铝硅合金靶材，铝硅铜合金靶材等。
储存器电极薄膜：钼靶材，钨靶材，钛靶材等。
粘附薄膜：钨靶材，钛靶材等。
电容器绝缘膜薄膜：锆钛酸铅靶材等。
● 磁记录靶材：
垂直磁记录薄膜：钴铬合金靶材等。
硬盘用薄膜：钴铬钽合金靶材，钴铬铂合金靶材，钴铬钽铂合金靶材等。
薄膜磁头：钴钽铬合金靶材，钴铬锆合金靶材等。
人工晶体薄膜：钴铂合金靶材，钴钯合金靶材等。
● 光记录靶材：
相变光盘记录薄膜：硒化碲靶材，硒化锑靶材，锗锑碲合金靶材，锗碲合金靶材等。
磁光盘记录薄膜：镝铁钴合金靶材，铽镝铁合金靶材，铽铁钴合金靶材，氧化铝靶材，氧化镁靶材，氮化硅靶材等。
光盘反射薄膜：铝靶材，铝钛合金靶材，铝铬合金靶材，金靶材，金合金靶材等。
光盘保护薄膜：氮化硅靶材，氧化硅靶材，硫化锌靶材等。
● 显示靶材：
透明导电薄膜：氧化铟锡靶材，氧化锌铝靶材等。
电极布线薄膜：钼靶材，钨靶材，钛靶材，钽靶材，铬靶材，铝靶材，铝钛合金靶材，铝钽合金靶材等。
电致发光薄膜：硫化锌掺锰靶材，硫化锌掺铽靶材，硫化钙掺铕靶材，氧化钇靶材，氧化钽靶材，钛酸钡靶材等。
● 其他应用靶材：
装饰薄膜：钛靶材，锆靶材，铬靶材，钛铝合金靶材，不锈钢靶材等。
低电阻薄膜：镍铬合金靶材，镍铬硅合金靶材，镍铬铝合金靶材，镍铜合金靶材等。
超导薄膜：钇钡铜氧靶材，铋锶钙铜氧靶材等。
工具镀薄膜：氮化物靶材，碳化物靶材，硼化物靶材，铬靶材，钛靶材，钛铝合金靶材，锆靶材，石墨靶材等。
三、靶材产业链及市场
靶材制造产业链中主要环节为“金属提纯-靶材制造-溅射镀膜-终端应用”四个环节，各环节附加值的差异也遵从微笑曲线分布。
其中溅射镀膜是整个产业链中技术要求最高的环节，溅射薄膜的品质对下游产品的质量具有重要的影响。
▲ 资料来源：万联证券
从需求结构来看，显示用靶材占比最大、国内京东方和TCL等厂家份额有望超60%；半导体用靶材市场规模在两百亿元量级，技术要求最高，中国大陆及台湾市场占据半壁江山。
记录媒体（机械硬盘HDD为主）用靶材份额仅次于显示领域，HDD相对固态硬盘在服务器、数据中心等领域优势无可替代，但市场主要以海外为主光伏领域，当前薄膜电池以美国为主，HJT电池由于效率优势随着成本下降发展可期。
据中国产业信息网，靶材行业市场空间有望从当前200亿元水平增至2023年300亿元，3年CAGR9.7%较高增长。
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原文标题：真空镀膜：靶材分类与产业链介绍(真空)
