真空镀膜：靶材分类与产业链介绍(真空) 一、靶材介绍 靶材是半导体、显示面板、光伏等领域制备功能薄膜的核心原材料，存在工艺不可替代性。 由于是在溅射过程中被高速金属等离子体流轰击的目标材料，又称“溅